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內容簡(jiǎn)介：壓電步進(jìn)旋轉電機控制系統壓電步進(jìn)電機的整體控制系統。PC機作為整個(gè)系統的和核心來(lái)控制其運動(dòng)狀態(tài)。PC發(fā)出的數字信號經(jīng)3路D/A轉換成模擬信號并通過(guò)3路放大裝置進(jìn)行放大。壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機的工作頻率主要取決于驅動(dòng)電機結構。

　　近年來(lái)，隨著(zhù)微/納米技術(shù)的迅猛發(fā)展，對驅動(dòng)精度的要求在納米級的水平。在光學(xué)工程、微電子制造、航空航天、超精密機械制造、微機器人操作、地震測量、生物、醫學(xué)及遺傳工程等技術(shù)領(lǐng)域的研究都迫切需要亞微米級、微/納米級的超精密驅動(dòng)，因此，各種微特電機得到了快速的發(fā)展。其中由于壓電精密驅動(dòng)電機具有高的驅動(dòng)特性，在國內外得到了較為廣泛的研究。
　　壓電材料在驅動(dòng)時(shí)具有納米級的穩定輸出位移精度，并且壓電驅動(dòng)線(xiàn)性好、控制方便、分辨率高、頻率響應好、不發(fā)熱、無(wú)磁干擾、無(wú)噪聲等，同時(shí)，壓電驅動(dòng)電機能實(shí)現體積小、重量輕、大功率密度的特點(diǎn)。因此采用壓電驅動(dòng)能較好的實(shí)現超精密驅動(dòng)的性能。
　　采用定子內側箝位結構實(shí)現步進(jìn)旋轉運動(dòng)是一種新的嘗試，采用4片無(wú)間隙薄壁柔性鉸鏈結構精確地將壓電陶瓷的直線(xiàn)運動(dòng)轉化為旋轉運動(dòng)，在箝位和驅動(dòng)的作用下實(shí)現高精度步進(jìn)旋轉運動(dòng)，該運動(dòng)是一種“箝位步進(jìn)箝位”方式的仿生型運動(dòng)，該結構對進(jìn)一步了解和研究壓電精密旋轉驅動(dòng)電機提供了一種新的方法和借鑒。
　　1總體結構及其工作原理內箝位壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機的總體結構，主要有定子箝位體、轉子、驅動(dòng)壓電陶瓷連接體、箝位壓電陶瓷和驅動(dòng)壓電陶瓷組成。定子箝位體結構分上下兩部分，即上箝位塊和下箝位塊，上箝位塊和轉子上的上轉子體接觸，而下箝位塊和轉子上的下轉子體接觸。轉子體通過(guò)4片均勻分布的薄壁柔性鉸鏈把上、下轉子體連接為一體。
　　驅動(dòng)壓電陶瓷8安裝在驅動(dòng)壓電陶瓷連接體9上，連接體的一側和上轉子體接觸，另一側和下轉子體接觸，連接體上加工有可伸縮變形的柔性鉸鏈。該驅動(dòng)電機的結構及運動(dòng)原理如下：①初始狀態(tài)時(shí)2、8壓電陶瓷處于自由狀態(tài)，下箝位壓電陶瓷（圖中未顯示，與5連接）通電箝位，使5和11箝位到一起固定不動(dòng)；②驅動(dòng)壓電陶瓷8通電伸長(cháng)，由于下轉子體不動(dòng)，所以在連接體9的柔性鉸鏈變形下推動(dòng)上轉子體10順時(shí)針旋轉一個(gè)角度θ；③上箝位壓電陶瓷2通電箝位，上箝位體3與上轉子體10箝位固定；④下箝位壓電陶瓷由箝位變?yōu)樗砷_(kāi)，11與5分開(kāi)；⑤驅動(dòng)壓電陶瓷8斷電松開(kāi)，下轉子體11在鉸鏈回彈力的作用下沿順時(shí)針轉角度θ，然后下箝位壓電陶瓷重新開(kāi)始箝位。這樣完成了一個(gè)步進(jìn)旋轉動(dòng)作循環(huán)，機構沿順時(shí)針?lè )较蜣D動(dòng)了一步。連續重復上述步驟，則精密驅動(dòng)電機可實(shí)現順時(shí)針連續步進(jìn)旋轉。同理可以實(shí)現機構的逆時(shí)針旋轉。
　　2運動(dòng)過(guò)程及分析2.1箝位運動(dòng)及其分析內箝位型壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機的定子箝位體結構如所示。上下箝位塊均設計有雙側雙向薄壁柔性鉸鏈，既減小了箝位時(shí)上、下箝位塊上箝位塊柔性鉸鏈下箝位塊
　　對箝位效果的干擾（即上箝位時(shí)可能導致下箝位體與下轉子壓緊），又保證了箝位時(shí)柔性鉸鏈只沿壓電陶瓷伸長(cháng)的方向變形，而不產(chǎn)生其它方向的變形而導致對轉子產(chǎn)生附加轉矩。另外，箝位時(shí)上、下箝位體要保證分別只與上、下轉子體接觸，而不和其它部分接觸。在實(shí)際工作中，由于定子箝位體和轉子之間是接觸的，沒(méi)有間隙，或者說(shuō)間隙很小，因此柔性鉸鏈幾乎不產(chǎn)生很大的變形，而僅僅是箝位力的傳遞。
　　在步進(jìn)驅動(dòng)中，箝位過(guò)程是影響步進(jìn)運動(dòng)效果關(guān)鍵因素，箝位性能參數主要包括箝位力參數F，箝位響應頻率參數f 1和箝位穩定性參數S 1。大的箝位力可使箝位牢靠；高的箝位響應頻率可以箝位靈敏，可以實(shí)現高頻高速步進(jìn)運動(dòng)；箝位穩定性S 1是指箝位過(guò)程對步進(jìn)運動(dòng)的影響程度，即不會(huì )因箝位沖擊而產(chǎn)生附加轉矩，從而提高步進(jìn)重復性精度，可以用箝位誤差來(lái)表示。
　　對該箝位系統的靜力學(xué)和動(dòng)力學(xué)分析中可作如下假定：假設單側箝位塊質(zhì)量為M，中間受一恒力F f（壓電陶瓷伸長(cháng)產(chǎn)生）作用，由材料力學(xué)知識可以推出：在F f的作用下箝位塊產(chǎn)生的位移量s為f 1 /（48）s F l EI（1）該箝位系統的固有頻率為3 2 1 48（34 /35）n EI M l（2）式中：EI為薄壁鉸鏈截面抗彎曲剛度系數；M為箝位塊質(zhì)量。
　　因此在保證箝位牢靠、剛性滿(mǎn)足要求的前提下，最大限度的減小M的質(zhì)量，采用EI合適的材料和結構，將能顯著(zhù)提高系統的固有頻率。由于薄壁鉸鏈截面的影響，使系統的抗彎剛度系數EI引起的抗彎力F e <　　采用有限元分析軟件Ansys8.1對該箝位結構進(jìn)行有限元分析的結果變形圖。分析中建立結構的有限元模型，采用三維四面體單元SOLID45對實(shí)體模型進(jìn)行單元劃分，有限元網(wǎng)格模型共有：50 221個(gè)節點(diǎn)，36 118個(gè)單元，其中柔性鉸鏈與定子箝位體連接端簡(jiǎn)化成固支，箝位體采用具有高彈性模量的彈簧鋼材料。分析得到系統的一階固有頻率f b A到了與理論分析近似的結果。
　　2.2旋轉運動(dòng)及其分析轉子是由上轉子體、下轉子體及通過(guò)圓周均布的四片薄壁柔性鉸鏈連接為一起的整體結構，此鉸鏈結構能保證上、下轉子體繞轉子中心旋轉。驅動(dòng)壓電陶瓷連接體一側與上轉子體接觸，另一側與下轉子體接觸，連接體上有變形鉸鏈結構，當壓電陶瓷通電伸長(cháng)時(shí)，則左側對上轉子體施加推力，右側對下轉子體施加推力。4片薄壁柔性鉸鏈和連接體上的柔性鉸鏈在驅動(dòng)壓電陶瓷回縮時(shí)起到彈性回復作用，除此之外連接體結構還能起到對驅動(dòng)陶瓷（金屬陶瓷熱擠壓模的產(chǎn)品說(shuō)明）的安裝預緊和保護作用。
　　轉子與定子配合的表面精度要求較高，因此在原始狀態(tài)下轉子能自由轉動(dòng)的前提下力求其與定子箝位體之間的間隙最小。轉子是驅動(dòng)電機的運動(dòng)部件柔性鉸鏈上轉子體驅動(dòng)連接體下轉子體和動(dòng)力輸出裝置，其運動(dòng)參數包括步距角參數？θ、有效推力參數F e和頻率參數ωn。
　　步距角和結構尺寸、鉸鏈剛度、壓電陶瓷的變形量有關(guān)。其步距角大小可按下式計算：2 B 180（ / 2）l t l（5）式中：？θ為距角，（°）；？l為壓電陶瓷伸長(cháng)量，m；t為陶瓷長(cháng)度，m；l B為陶瓷中心到鉸鏈中心距離，m.
　　上、下轉子體是否繞轉子中心軸進(jìn)行微角度旋轉運動(dòng)是該系統能否進(jìn)行步進(jìn)旋轉運動(dòng)的關(guān)鍵因素和前提條件，通過(guò)對轉子進(jìn)行靜力學(xué)有限元分析可以進(jìn)行驗證。對轉子結構進(jìn)行分析的模型結果圖。在分析過(guò)程中，以所示的下轉子體為固定側進(jìn)行約束，對驅動(dòng)壓電陶瓷的左側接觸面施加力F，從圖中可以清楚地看到驅動(dòng)后的薄壁柔性鉸鏈的變形效果及上轉子體旋轉位移δ。另外通過(guò)對分布在轉子圓周上的多個(gè)點(diǎn)有限元分析得出：變形后各點(diǎn)仍以較高的精度分布在變形前所在的圓周上，這充分說(shuō)明轉子體結構的變形是繞著(zhù)轉子中心軸進(jìn)行的。在有限元分析中，施加不同的力F，得到了不同的旋轉位移量δ。
　　各參數之間關(guān)系為e w s R（）F F F K（6）式中：F為壓電陶瓷產(chǎn)生的推力；F w為有效輸出載荷；K S為連接體薄壁鉸鏈的當量彈性系數；K R為轉子薄壁鉸鏈的當量彈性系數；δ為轉子的旋轉變形位移量。
　　步進(jìn)旋轉驅動(dòng)過(guò)程是一個(gè)較復雜的過(guò)程，涉及到壓電陶瓷的響應時(shí)間，輸出載荷的加速度變化，內部能量損耗等，所以這里采用了當量彈性系數K s、K R、有效推力F e、有效輸出載荷F w等對系統進(jìn)行有效地描述。轉子運動(dòng)時(shí)，驅動(dòng)壓電陶瓷應具有與箝位部分相同的運動(dòng)頻率，所以，為了提高整體系統的頻率，應盡可能的提高轉子系統本身的固有頻率。但轉子部分與定子箝位體部分是不同的，定子箝位系統的固有頻率一旦設計完成，是一個(gè)固定不變的量，而直線(xiàn)動(dòng)子系統的固有頻率則隨著(zhù)輸出載荷的變化而變化，是一個(gè)變化的量。由材料力學(xué)和振動(dòng)力學(xué)知識可以得出：s R 0 w 2（）n K F M M M M e（7）式中：M為上轉子體和連接體的有效質(zhì)量；M w為外部載荷物體質(zhì)量；F 0為施加在壓電陶瓷上的預緊力；e為轉子運動(dòng)的振幅。
　　在轉子設計中，在滿(mǎn)足強度條件和步進(jìn)位移量的前提下，應盡量提高薄壁柔性鉸鏈的等效彈性系數K s和K R，減小轉子和連接體的質(zhì)量M，使系統具有良好的動(dòng)態(tài)性能。
　　3壓電步進(jìn)旋轉電機控制系統壓電步進(jìn)電機的整體控制系統。PC機作為整個(gè)系統的和核心來(lái)控制其運動(dòng)狀態(tài)。PC發(fā)出的數字信號經(jīng)3路D/A轉換成模擬信號并通過(guò)3路放大裝置進(jìn)行放大。3路經(jīng)放大的電源按給定的時(shí)序對2個(gè)箝位壓電疊堆和1個(gè)驅動(dòng)壓電疊堆進(jìn)行協(xié)調控制。在整個(gè)控制系統中，由于壓電疊堆為電容性器件，為使其達到能完全伸縮的性能特點(diǎn)，必須對壓電疊堆設計高頻完全放電回路，使壓電疊堆在斷電時(shí)其內部存儲的電量能夠徹底放掉。另外，系統中安裝了精密位移測量裝置，對系統結構產(chǎn)生的位移進(jìn)行準確的測量，并送入PC進(jìn)行詳細處理。
　　驅動(dòng)所用的電源信號時(shí)序關(guān)系對整個(gè)系統的動(dòng)作至關(guān)重要，它直接影響系統的運動(dòng)效果。3路時(shí)序信號的相位關(guān)系如所示，1、3路為鉗位壓電疊堆通電信號，2路為驅動(dòng)壓電疊堆通電信號。
　　時(shí)序信號為梯形信號，這樣可消除電源信號的上升沿和下降沿由于突變而產(chǎn)生的沖擊噪聲，并且對壓電驅動(dòng)元件起到保護作用，提高壓電疊堆的使用壽放大D/A 1放電回路箝位壓電疊堆1放大D/A 1放電回路箝位壓電疊堆2放大D/A 1放電回路箝位壓電疊堆3數據處理精密測微儀PC控制t t t t上箝位驅動(dòng)下箝位T命。在控制信號的設計方面，應充分考慮各部分的時(shí)序分配和分布，如所示：把一個(gè)周期T分為6等分，每等分t=T/6，電源信號的上升沿和下降沿分別占？t，？t≈t/4.箝位電壓信號的平均低電平（斷電）時(shí)間為2t=T/3，平均高電平（通電）時(shí)間為4t=2T/3，驅動(dòng)電壓信號的高電平和低電平時(shí)間是相等的，分別占T/2，左右箝位電壓信號的時(shí)序相差3t.
　　4試驗與測量4.1實(shí)驗裝置為研制的壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機內部結構的實(shí)物照片。在試驗測量中用到的儀器有：JPC型集成精密信號發(fā)生放大器，LC2400A型非接觸精密激光測微儀，HPC系列壓電陶瓷驅動(dòng)電源，精密氣浮隔振臺等。測量中將激光測微儀的激光焦點(diǎn)照射到運動(dòng)體的表面上并調到穩定狀態(tài)，通過(guò)屏幕上顯示的數據可得到旋轉位移的大小。
　　4.2步進(jìn)分辨率測量分辨率是指步進(jìn)運動(dòng)時(shí)每一步所能達到的最小步長(cháng)，分辨率是精密驅動(dòng)電機的一個(gè)重要指標。對該驅動(dòng)電機進(jìn)行分辨率測量的曲線(xiàn)圖，可以看出，驅動(dòng)電壓5V時(shí)得到其分辨率值大約為1μrad。而大于5V時(shí)分辨率值增大，低于5V時(shí)，無(wú)角位移輸出。因此在驅動(dòng)電壓5V時(shí)得到的數值即為該驅動(dòng)的最大分辨率，5V驅動(dòng)電壓就稱(chēng)為截止驅動(dòng)電壓。
　　4.3箝位力及箝位穩定性測量為箝位力N f的測量曲線(xiàn)。通過(guò)測量得出系統的最大箝位扭矩N f達到2.3Nm.另外，最大箝位扭矩與箝位電壓成近似線(xiàn)性關(guān)系。在實(shí)際工作中，箝位電壓70V所達到的1.5Nm，箝位扭矩已基本滿(mǎn)足超精密定位領(lǐng)域的使用需求。
　　2.5 1.5 0.5 0 40 80 100 60 20箝位電壓/V最大箝位矩/（N）箝位誤差是箝位動(dòng)作對轉子產(chǎn)生的影響，用箝位過(guò)程對轉子產(chǎn)生的微小位移來(lái)描述。1是驅動(dòng)電機的箝位誤差測量結果。圖中每個(gè)電壓點(diǎn)的測定值都是從100個(gè)測量值中所取得的平均值。從圖中可以看出，箝位過(guò)程中最大箝位誤差值在個(gè)別測量點(diǎn)，達到最大的0.01μrad.另外，隨著(zhù)箝位電壓值的增大，箝位誤差值有增大的趨勢，但從整體來(lái)看，該箝位過(guò)程對轉子的影響非常微弱。因此該箝位過(guò)程是穩定的。
　　4.4步進(jìn)轉速測量?jì)润槲?外驅動(dòng)型壓電精密步進(jìn)旋轉電機的速度由驅動(dòng)電壓和步進(jìn)頻率決定。其關(guān)系如2所示。圖中給出了幾種典型頻率的速度曲線(xiàn)，該速度是在空載狀態(tài)下測得的。從圖中可以看出，步進(jìn)頻率40Hz時(shí)速度達到325μrad/s，根據需要可適當調節頻率和驅動(dòng)電壓來(lái)滿(mǎn)足各種速度要求。另外，壓電陶瓷閉環(huán)曲線(xiàn)的上升過(guò)程，其斜率是增大的，而圖中速度-電壓曲線(xiàn)的斜率隨電壓的升高逐漸減小，這是因為當電壓升高時(shí)，壓電疊堆位移量和驅動(dòng)力增大導致柔性鉸鏈的變形增大或出現微小塑性變形，從而產(chǎn)生附加載荷所致。
　　4.5連續步進(jìn)轉矩測量連續輸出轉矩是衡量壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機的一個(gè)重要指標。3為輸出角位移量大小和輸出扭矩以及驅動(dòng)電壓之間的關(guān)系圖，從圖中可以看出，在同一電壓下，在一定的載荷范圍內，力對位移的影響不明顯，超過(guò)一定的外載荷，則位移有輕微的下降趨勢。實(shí)驗中，在100V電壓下，外載荷M<30N？cm的情況下，載荷變化對位移的影響不明顯，但超過(guò)一定載荷后，輸出位移急速下降，這是因為當達到一定的輸出載荷時(shí)，箝位力不足以承擔驅動(dòng)壓電陶瓷對箝位端產(chǎn)生的反作用力，這時(shí)出現步進(jìn)紊亂。由圖中曲線(xiàn)可以看出，100V電壓下，在M<30N？cm時(shí)，角位移輸出是比較穩定的。
　　壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機的工作頻率主要取決于驅動(dòng)電機結構的如下因素：①箝位體雙薄壁柔性鉸鏈的彎曲剛度；②箝位塊的質(zhì)量；③轉子上4個(gè)扭轉彎曲組合薄壁柔性鉸鏈的剛度；④上下轉子體的質(zhì)量；⑤驅動(dòng)連接體柔性鉸鏈的剛度。其中，1和2決定定子箝位體的固有頻率；③、④和⑤決定轉子的固有頻率。通過(guò)實(shí)驗，得出系統的最大工作頻率為40Hz，即在40Hz時(shí)驅動(dòng)電機系統獲得最大步進(jìn)旋轉速率，當頻率大于40Hz時(shí)，旋轉速度扭矩迅速下降。
　　5結論（1）新型壓電精密步進(jìn)旋轉驅動(dòng)電機具有具有高頻率（40Hz）、高的分辨率（1μrad）、有效驅動(dòng)轉矩（30N？cm）、較高驅動(dòng)速度（325μrad/s）、任意角度旋轉的特性。
　　（2）薄壁柔性鉸鏈定子箝位體結構工作頻率高、箝位牢固、工作可靠，解決了高頻和箝位牢固之間的矛盾。
　　（3）利用定子內箝位/轉子外驅動(dòng)方式和薄壁柔性鉸鏈結構實(shí)現步進(jìn)旋轉驅動(dòng)為壓電驅動(dòng)電機的設計提供了一種可借鑒的方法。

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西安西瑪電機基本控制線(xiàn)路的安裝流程分享。
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綠色電機控制技術(shù)市場(chǎng)動(dòng)向分析。
　　電機在當今世界中的應用非常廣泛，甚至可以說(shuō)有運動(dòng)的地方就可能有電機的存在。作為高性能電機系統的靈魂，控制芯片和驅動(dòng)技術(shù)將扮演越來(lái)越重要的作用。富士通半導體(上海)有限公司經(jīng)理鐘成寶表示，富士通一直把電機控制領(lǐng)域做為主要發(fā)展方向之一，致力于單片機和控制方案的研發(fā)和推廣。

國內電機行業(yè)發(fā)展出路。
　　然而，笨重大型的電機并不受歐美等發(fā)達國家所歡迎。國外的電機都朝著(zhù)輕便、簡(jiǎn)約化發(fā)展，我國的大型高效電機出口是沒(méi)有優(yōu)勢的。中國的電機企業(yè)應該增加電機制造的國際競爭力。

2013年中國電機產(chǎn)業(yè)發(fā)展戰略研究。
　　電機產(chǎn)品種類(lèi)繁多，根據型號、規格、功率、軸伸、絕緣、編碼器、轉速開(kāi)關(guān)、熱敏元件、加熱帶等參數的不同可劃分出各種各樣電機。為了簡(jiǎn)單的劃分電機產(chǎn)品，一方面，按照行業(yè)慣例，將電機分為大型電機、中小型電機和微型電機;另一方面，按照電機專(zhuān)用性將電機分為普通標準電機和特殊專(zhuān)用電機。

我國電機行業(yè)發(fā)展現狀分析。
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